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高纯BOE溶液技术要求

质量标准:

项目

指标

UP-S级

UP-SS级

氟化铵(NH4F)含量/% ≤

36.4±1.0

40.0±1.0

氢氟酸含量(HF)含量/% ≤

4.8±0.5

4.8±0.5

色度/Hazen ≤

5

5

氯化物(以Cl计) w/(mg/kg)    ≤

3

0.1

硝酸盐(以NO3计) w/(mg/kg)    ≤

3

0.1

磷酸盐(以PO4计)  w/(mg/kg)    ≤

1

0.1

硫酸盐(以SO4计) w/(mg/kg)    ≤

3

0.2

铝(Al)/(μg/kg) ≤

1

0.1

砷(As)/(μg/kg) ≤

1

0.1

硼(B)/(μg/kg) ≤

1

0.1

钡(Ba)/(μg/kg) ≤

1

0.1

钙(Ca)/(μg/kg) ≤

1

0.1

镉(Cd)/(μg/kg) ≤

1

0.1

铬(Cr)/(μg/kg) ≤

1

0.1

铜(Cu)/(μg/kg) ≤

1

0.1

铁(Fe)/(μg/kg) ≤

1

0.1

钾(K)/(μg/kg) ≤

1

0.1

锂(Li)/(μg/kg) ≤

1

0.1

镁(Mg)/(μg/kg) ≤

1

0.1

锰(Mn)/(μg/kg) ≤

1

0.1

钠(Na)/(μg/kg) ≤

1

0.1

镍(Ni)/(μg/kg) ≤

1

0.1

铅(Pb)/(μg/kg) ≤

1

0.1

锑(Sb)/(μg/kg)  ≤

1

0.1

锡(Sn)/(μg/kg) ≤

1

0.1

钛(Ti)/(μg/kg) ≤

1

0.1

钒(V)/(μg/kg) ≤

1

0.1

锌(Zn)/(μg/kg) ≤

1

0.1

颗粒

(≥1.0μm)/(个/mL) ≤

30

 

(≥0.5μm)/(个/mL) ≤

-

30

注:氟化铵与氢氟酸含量可按客户需求的比例进行配置

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