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高纯四氟化碳

质量标准:

分子式:CF4                             分子量:88.005

项目

指标

四氟化碳纯度(CF4) 10-2(v/v)  ≥

99.999

氧气(O2) 10-6(v/v) ≤           

1

氮气(N2) 10-6(v/v) ≤                                         

4

水分(H2O) 10-6(v/v) ≤                                           

1

二氧化碳(CO2) 10-6(v/v) ≤      

1

一氧化碳(CO) 10-6(v/v) ≤   

0.3

酸度(以HF计) 10-6(m/m) ≤

0.1

其他氟碳化合物 10-6(v/v) ≤

1

六氟化硫(SF6) 10-6(v/v) ≤

1

杂质总和 10-6(v/v) ≤                   

10

性状:
四氟化碳相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、藏精阁100万视频免费无臭、藏精阁100万视频免费不燃的易压缩性气体,是最稳定的有机化合物之一,不易溶于水。熔点(101.325kPa):-186.8℃;沸点(101.325kPa):-128.0℃;液体密度(-127.94℃,101.325kPa):1603kg/m³;气体密度(0℃,101.325kPa):3.946kg/m³。
用途:
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,广泛应用于硅、藏精阁100万视频免费二氧化硅、藏精阁100万视频免费氮化硅、藏精阁100万视频免费磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻;在电子器件表面清洗、藏精阁100万视频免费太阳能电池的藏精阁搬运工账号生产、藏精阁100万视频免费激光技术、藏精阁100万视频免费气相绝缘、藏精阁100万视频免费低温制冷、藏精阁100万视频免费泄漏检验剂、藏精阁100万视频免费控制宇宙火箭姿态、藏精阁100万视频免费印刷电路藏精阁搬运工账号生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料藏精阁直播app等。四氟化碳的溶氧性很好,被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。
贮存:
应存放于阴凉干燥、藏精阁100万视频免费通风良好的场所。
运输:
运输时,四氟化碳气瓶上应附有GB190中制定的标志。
包装:
四氟化碳可用无缝钢瓶或铝合金容器装运,通常采用47L、藏精阁100万视频免费40L、藏精阁100万视频免费10L、藏精阁100万视频免费8L等无缝钢瓶充装,充装压力12.5MPa,也可根据超在线观看免费视频91客户需要选用各种容器的气瓶。

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